Page 18 - 微纳简介
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MEMS气体流量传感篇
MEMS气体流量芯片
结构图 电路图
芯片尺寸：1.8×5.0×0.5 mm
引脚定义:
1: rh 2:Ru
3: ud 4: Rd
5:Rh 6: Rr 规格表
引脚标识 电阻类别 典型值
rh-Rr Re, 环境电阻 1.95 KΩ
用于检测气体质量流量，采用悬膜式结构，功耗低 rh-Rh Rh, 加热电阻 0.35 KΩ
Ru, 上游测温电
Ru-ud 0.65 KΩ
阻
合肥微纳传感技术有限公司 Rd, 下游测温电
ud-Rd 0.65 KΩ
阻
