Page 19 - 微纳简介

MEMS气体流量传感篇

MEMS气体流量传感器

结构图 规格表

项目 参数
封装形式 表贴陶瓷
尺寸 3.8×3.8×1.6 (mm)
接口标识 电阻类型 典型值
Re, 环境测温电
Pin (2 – 1) 2.95 kΩ
阻
Pin (2 – 3) Rh, 加热电阻 0.48 kΩ
Ru, 上游测温电
Pin (5 – 6) 0.73 kΩ
阻
Rd, 下游测温电
Pin (5 – 4) 0.73 kΩ
阻
20±2 ℃,
测试环境
65±5% RH
加热电压 1.5 VDC
标准测试条件
测量电压 3.3 VDC
匹配电阻 1 kΩ

电路图 引脚图

可高精度测量空气、氧气和氮气等非腐蚀

性气体的流量

P i n 1 : R r P i n 2 : r h
Pin3: Rh
合肥微纳传感技术有限公司 Pin4: Rd Pin5: ud Pin6:
Ru