MEMS气体流量传感篇 MEMS气体质量流量传感器 引脚 描述 1 - 2 VOUT 特点: 应用: 3 VCC 高精度 医疗呼吸 4 GND 高灵敏 工业检测 5 - 低温漂 流量控制 结构图 引脚图 合肥微纳传感技术有限公司