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MEMS气体流量传感篇






           MEMS气体质量流量传感器
























                                                                                                                                                      引脚                 描述

                                                                                                                                                        1                  -
                                                                                                                                                        2                VOUT

                    特点:                应用:                                                                                                              3                 VCC

                    高精度                医疗呼吸                                                                                                             4                 GND

                    高灵敏                工业检测                                                                                                             5                  -
                    低温漂                流量控制

                                                                                               结构图                                                            引脚图






                                                                                 合肥微纳传感技术有限公司
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