MEMS气体传感篇 MEMS气体传感器 电路图 结构图 引脚定义: Pin1: 加热引脚 Pin2: 可用于检测VOC、烟雾、乙醇、丙酮、氢气、硫化氢、氨气等气体 测量引脚 Pin3: 加热引脚 Pin4: 测量引脚 合肥微纳传感技术有限公司