Page 12 - 微纳简介

MEMS气体传感篇

MEMS微热板芯片 规格表 功耗与电压关系图

项目 典型值

常温电阻 45±5 Ω

加热元件材料 Pt

测量元件材料 Pt
典型加热电压 1.5 V

寿命 > 10 years (@1.5 V)

结构图

叉指电极
温度与电压关系图

隔离薄膜

加热器

支撑薄膜
芯片尺寸：1.0×1.0×0.5 mm

引脚定义:
爆炸视图 1: 测量电极 2: 加热电极
3: 测量电极 4: 加热电极

合肥微纳传感技术有限公司