Page 6 - 微纳简介
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研发实力
MEMS NANO ASIC
工艺基础 敏感材料 集成电路
六英寸MEMS工艺线 / 纳米气敏材料研发与量产条件/ 集成电路设计软件及仿真条件
中国科学技术大学 中科院 上海微系统与信息技术研究所
USTC SIMIT, CAS
合肥微尺度物质科学国家研究中心 传感技术联合国家重点实验室
类脑智能技术及应用国家工程实验室 微系统技术重点实验室
合肥微纳传感技术有限公司
